化学世界

2019, v.60(11) 795-798

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X射线荧光光谱法测定硅片中锑、砷、磷
X-Ray Fluorescence Spectrometry Determination of Sb,As and P in Silicon Wafers

于磊;胡芳菲;宋永清;

摘要(Abstract):

利用X射线荧光光谱法直接测定硅片中锑、砷、磷三个主要元素,选择化学法标定的硅片作为标准,通过仪器绘制标准曲线,计算各元素的检出限及各元素的精密度。用电感耦合等离子体光谱法定量分析三个元素,将两种方法的结果进行比对,所得结果基本一致。因此,通过仪器法和化学法的比较,表明该法与常规化学分析相比,具有简便、成本低、分析速度快,准确等优点。

关键词(KeyWords): X射线荧光光谱法;硅片;定量分析

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 于磊;胡芳菲;宋永清;

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DOI: 10.19500/j.cnki.0367-6358.20180602

参考文献(References):

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